免费av在线-国产福利一区二区-精品欧美乱码久久久久久-偷拍福利视频-国产日韩亚洲-亚洲 欧美 综合-中文字幕无人区二-成人av资源站-日大逼-三级色网-成人福利av-中文字幕2021-高清国产视频-日韩在线一级-91精品国产一区二区三区蜜臀

平行板電容式PECVD是一種用等離子體激活反應(yīng)氣體,促進(jìn)在基體表面或近表面空間進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電場(chǎng)作用下，源氣體電離形成等離子體，利用低溫等離子體作為能量源，通入適量的反應(yīng)氣體，利用等離子體放電，使反應(yīng)氣體激活并實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積的技術(shù)。