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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 地礦 |
VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開發的鍍膜設備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備，特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。
配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據客戶需要任意調換）。
可制備多種薄膜，應用廣泛。
體積小，操作簡便。
整機模塊化設計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計，可根據用戶實際需要調整。
可根據用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。
產品名稱 | VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀 | |||
產品型號 | VTC-600-3HD | |||
安裝條件 | 1、工作臺需要：尺寸 L1300mm×W750mm×H700mm，承重 200kg 以上。 2、水：需求：隨機標配 KJ-5000 自循環冷水機（加注純凈水或者去離子水）。 3、氣：需氬氣（純度≥99.99%），自備氬氣瓶（自帶?6mm 雙卡套接頭）及減壓閥。 4、通風裝置：使用現場需通風（必要時可自行加裝換氣裝置）。 5、供電源：單相：AC220V 50Hz 國標 10A 插座，必須有良好接地，前端需加裝 16A 空氣開關。 6、現場環境：要求：溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh 以下，干燥無塵，無易燃易爆氣體。 | |||
主要參數 | 真 空 系 統 | 真空室尺寸 | φ295×高 265mm | 備注說明 |
真空泵組 | 分子泵：Hipace80 渦輪泵 前級泵：MVP015-2DC 隔膜泵 | 浦發（Pfeiffer） | ||
本底真空度 | 5.0E-3Pa(5.0E-5hPa) | 沉積前基礎真空要求 | ||
極限真空度 | 5.0E-4Pa(5.0E-6hPa) | 受現場環境等因素影響 | ||
工作壓力 | 0.1~5Pa(0.001~0.05hPa) | 氬氣為主，反應氣體比例添加 | ||
抽速 | 前級泵：1 m3/h 分子泵：67 l/s | 影響抽真空時間 | ||
電 源 配 置 | 濺射電源 類型/數量 | DC（直流）：2臺 RF（射頻）：1臺 | DC：金屬靶 RF：絕緣靶 （搭配電源類型可選配） | |
輸出功率 范圍 | DC：0~500W RF：0~300W | 功率輸出模式 MAX輸出功率 | ||
匹配阻抗 | 50Ω | 確保功率傳輸效率 | ||
氣 體 控 制 | 工作氣體 | 標配：氬氣（Ar） | 建議使用：Ar 純度 99.999% | |
氬氣流量 (2路輸入） | 1路：1~100sccm 1路：1~200sccm | 注：如需要通入其它類型保 護氣體可定制 | ||
流量計精度 | ±1%F.S. | / | ||
旋 轉 樣 品 臺 | 樣品臺尺寸 | Φ132mm | ≈5.2 英寸 | |
樣品臺轉速 | 1~20rpm | 提升膜厚均勻性 | ||
加熱溫度 | RT~500℃ | 樣品臺表面溫度值 | ||
控溫精度 | ±1℃ | / | ||
磁 控 濺 射 靶 | 磁控靶數量 | 3個 | 可獨立、可同時使用 | |
靶材尺寸 | φ2寸 厚度0.1-5mm | 靶材材質不同厚度有所不同 | ||
靶基距 | 85~115mm可調 | 當距離↑增大、→厚膜均勻 性↑增高，沉積速率↓下降。 | ||
冷卻方式 | 水冷 | 冷卻水循環靶頭降溫 | ||
沉 積 性 能 與 其 它 參 數 | 厚膜均勻性 | ±5%（φ100mm基片） | 靶基距和轉速優化關鍵 | |
極限膜厚 | 10nm~10um | 過厚易應力開裂 | ||
輸入功率 | MAX:主機 500W/射頻電源 1100W/直流電源 750W | 注：主機、射頻電源、直流電 源及膜厚儀均為獨立供電！ | ||
輸入電源 | 單相： AC220V 50/60Hz | |||
主機尺寸 | 600mm×750mm×900mm | 注：開蓋高度為1050mm | ||
整機尺寸 | 1300m×750mm×900mm | 注：開蓋高度為1050mm | ||
整機重量 | 160kg | 注：不含水冷機組 | ||
| 序號 | 名稱 | 數量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 直流電源控制系統 | 2套 | - |
| 2 | 射頻電源控制系統 | 1套 | - |
| 3 | 膜厚監測儀系統 | 1套 | - |
| 4 | 分子泵（德國進口或者國產更大抽速） | 1臺 | - |
| 5 | 冷水機 | 1臺 | - |
| 6 | 聚酯PU管（?6mm） | 4m | - |
| 序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
| 1 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | （可選） |  - |
| 2 | 可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜 | （可選） | - |
| 3 | 掩膜版 | （可選） | - |
| 4 | 振動樣品臺 | （可選） | - |
| 5 | 雙層旋轉鍍膜夾具 | （可選） |  |
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